Esempi di applicazione

Materiale substrato

Lunghezza d'onda tipica

XUV（EUV)Specchio riflettente

EUVFotolitografia

Applicazione di armoniche di alto ordine

Aces Science

XLaser a raggi X

Riflettore multistrato

Mp/Si

Ru/Si

Zr/Al

SiC/Mg

Cr/C

50Tensione elettronica a100Tensione elettronica

50Tensione elettronica a100Tensione elettronica

50Tensione elettronica a70Tensione elettronica

25Tensione elettronica a50Tensione elettronica

a300Tensione elettronica

Riflettore monostrato

SiC

Pt

Ru

10Tensione elettronica a100Tensione elettronica

XRiflettore a raggi X

Applicazioni sincrotrone

XFELapplicazione

integratoXApparecchiature di prova non distruttive a raggi X

Riflettore multistrato

W/C

W/B4C

Ru/C

Pt/C

1kTensione elettronica a30kTensione elettronica

Riflettore monostrato

C

B4C

SiC

Cr

Ni

1kTensione elettronica a30kTensione elettronica

XUVRiflettore multistrato

descrivere

Forma del substrato: piatto, convesso, concavo, parabolico, toroidale, ellissoidale

Materiali substrati: quarzo, siliciozero dewerAspetta, aspetta.

Materiale film multistrato:Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/CAspetta, aspetta.

Dimensione del substrato: φ3Millimetro a φ300MillimetroMo/SiGli specchi multistrato sono vicini13Nano(90Elevata riflettività alla lunghezza d'onda dei volt elettronici.NTT-ATdiMo/SiGli specchi multistrato hanno un alto70%The normal incidence reflectance.NTT-ATdiXUVIl materiale, la struttura del film e la forma del substrato del riflettore possono essere personalizzati per soddisfare le esigenze degli utenti per quanto riguarda la lunghezza d'onda centrale e i dispositivi ottici.

Forma del substrato: piatto, ellissoidale, parabolico, cilindrico, toroidale

Substrato: quarzo, siliciozero dewerAspetta, aspetta.

Materiale substrato:W/B4C、W/C、Pt/CIn attesa della dimensione del substrato: massimo500MillimetroNTT-ATfornireK-BSistemi di specchi, specchi Walter, ecc.

XRiflettore multistrato a raggi X

descrivere

Riflettanza, rosa; Riflettività calcolata, lunghezza del periodo:2.95Nano)W/B4CMultistrato eW/CRiflettore a pellicola multistrato per hardXLe applicazioni di radiazione hanno un'elevata riflettività. Al fine di riflettere e raccogliere efficacemente la durezzaXLe radiazioni devono ridurre al minimo l'angolo di incidenza il più possibile. Ciò richiede una lunghezza più lunga del riflettore e un perimetro più piccolo del film multistrato.

Riflettore monostrato

descrivere

Forma del substrato: piatto, ellissoidale, parabolico, cilindrico, toroidale

Materiali substrati: quarzo, siliciozero dewerAspetta, aspetta.

Materiali multistrato:C、B4C、SiC、Ru、NbN、PtAspetta, aspetta.

Dimensione del substrato: massima500Millimetro

Utilizzo di uno specchio monostrato con riflessione totale per il controllo del fascio, l'aggregazione della luce e la rimozioneXUVaXNessuna lunghezza d'onda richiesta all'interno della gamma di radiazioni.NTT-ATLa forma del materiale e del substrato del riflettore monostrato può essere personalizzata per soddisfare le esigenze degli utenti per quanto riguarda la lunghezza d'onda centrale e il dispositivo ottico. Specchio ellittico con strato di rutenio